Tecnologia de vcuo

PARTE III: Medidas e Normas.

Medidas de PressoMedidas de Presso

Por mais estranho que possa parecer, os mtodos mais primitivos de determinao de presso so aqueles que podem fornecer valores absolutos.

Tais mtodos so freqentemente usados para aferir instrumentos.

Contudo sua utilizao como instrumento de medidas debaixas presses (vcuo) invivel.

Com o decorrer do tempo foram desenvolvidosdiversos mtodos para efetuar tais medidas viaextrapolaes.

Hoje possvel medir presses de at 10-11 mbarcom grande reprodutibilidade mas sem preciso!

Os sensores mais comuns so:

Sensores capacitivos,

Piranis e

Pennings p p0 = .g.hFull-Range

P [1 bar, 10-1 mbar]

P [10-1 mbar, 10-4 mbar]

Cacitivo Pirani

P [10-4 mbar, 10-11 mbar]Penning

NormalizaoNormalizao

As normas mais usuais para flanges e conexes em vcuo so a ISO e a DN, que fundamentalmente so equivalentes. Elas prevem basicamente 3 variantes: ISO-CF, DN-CF ou Conflat; ISO-KF ou DN-KF e ISO-LF ou DN-LF

A especificao dada como:

ISO-X-Y ou DN-X-Yonde: X = dimetro da abertura

Y = CF, KF ou LF

Tipicamente os valores de X so:CF: 10, 16, 25, 40, 50, 63, 100, 160, 200, 250 mmKF: 10, 16, 25, 40, 50 mmLF: 10, 16, 25, 40, 50, 63, 100, 160, 200, 250, 400 mm

X

CF

Vedao por oring metlico(usualmente aneis de cobre)

KF

Vedao por oring de borracha(viton) com anel centrador

LF

Vedao por oring de borracha(viton) com ou sem anel centrador.

Possui diversas variantes conformea necessidade (flexivel)!

Um grandeLEGO!

(Brinquedo de Montar)

ReferenciasReferencias

A users guide to vacuum technology, John F. OHalon, ed. John Willey & Sons (1980).

Modern vacuum practice, ed. Edwards Vacuum. The generation of rough and medium vacuum, ed. Pfeiffer Vacuum. Working with turbo molecular pumps, ed. Pfeiffer Vacuum. Vacuum technology, ed. Leybold Vacuum