Caracterização térmica de Caracterização térmica de filmesfilmes
de cobre por termo-de cobre por termo-refletância refletância
Carolina AbsCarolina Abs
Por que determinar a condutividade térmicade um material?
Principais métodosPrincipais métodos analisados analisados para para determinação da condutividade térmicadeterminação da condutividade térmica
• Método Laser-Flash;
•Mirage;
•3 ω;
•Termo-refletância.
Determinação da condutividade térmicaDeterminação da condutividade térmica perpendicular ao plano do perpendicular ao plano do filme através do método Laser-Flash, considerando o modelo filme através do método Laser-Flash, considerando o modelo
unidimensional de condução de fluxo de calorunidimensional de condução de fluxo de calor
t1/2 é determinado através do gráfico obtido experimentalmente[2]
2/122 /38,1 tL
Em que é a difusividade térmica, L é a espessura e t1/2 é a metade do tempo necessário para que o corpo atinja sua temperatura máxima.
cperp
= difusividade térmica (m2/s)к = condutividade térmica (W/mK) = densidade (Kg/m3)c = calor específico (J/Kg K)
Dificuldades encontradasDificuldades encontradas
• Detector suficientemente rápido para o comprimento de onda;
•O transiente de temperatura é medido atrás do substrato.
Mirage Mirage
Dificuldades encontradasDificuldades encontradas
•Medidas estão muito próximas do limite de sensibilidade do método;
•A condutividade do ar acima do filme diminui a sensibilidade de detecção;
•Sensor de posição.
Método 3 Método 3 ωω
Dificuldades encontradasDificuldades encontradas
• Envolve preparação da amostra;
• Alta uniformidade da superfície;
• Substrato.
Termo-refletânciaTermo-refletância
Em que regime ela é aplicável?
Teoria da Linha de Transmissão
Método Stehfest
1. Resistência térmica;2. Condutividade térmica do
substrato depende da dopagem;
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