FACULDADES INTEGRADAS CLARETIANAS

Sensores MEMS.

Grupo:

Fabrizio RA: 2011065

HenriqueRA: 2009881

RonaldoRA: 2011104

RafaelRA: 2010945 Rio Claro

2015

Sensores MEMS. interessante perceber o quanto a tecnologia avanou durante todo esse tempo, tornando a vida cada vez mais pratica aos nossos olhos. Mais incrvel ainda, constatar que existem muitos projetos sendo lanados no mercado continuamente sem ao menos termos tempo para adaptarmos a eles. Uns dos dispositivos mais promissores so os dispositivos MEMS (Micro-Electro-MechanicalSystems, dispositivos microeletromecnico), uma tecnologia praticamente invisvel que funciona em uma escala microscpica, e que capaz de realizar diversas aplicabilidade em menor tempo, com melhor qualidade e preciso do os dispositivos convencionais.O que so MEMS?

So elementos mecnicos, sensores e eletrnicos integrados em um pequeno chip que une uma combinao de conceitos da microeletrnica, engenharia mecnica, cincias dos materiais, fsica e qumicas. Possui uma informao embutida que determina seu funcionamento. So praticamente micromquinas programadas para cumprir determinada atividade em diversas reas.

Onde so utilizados?

Os MEMS so utilizados em inmeros setores, dentre eles a da indstria. Produtos como telefones celulares, equipamentos de udio e aparelhos para surdez adotaram a tecnologia sob a forma de microfiltros, o que melhorou significativamente a qualidade e acabou com problemas como distoro do som e interferncia por freqncias que atrapalhem o funcionamento.

No caso dos aparelhos celulares e outros objetos eletrnicos, a diminuio de tamanho e o aumento da eficincia tambm so decorrncia dos sistemas microeletromecnicos.

Como os MEMS so estruturas muito pequenas (cerca de 1 a 100 micrmetros, o que corresponde a 0,001 e 0,1 milmetros, respectivamente), os dispositivos equipados com eles possuem em mdia apenas 20 micrmetros, no sendo mais necessria de uma grande quantidade de chips comuns para compor o aparelho.O fato de serem fabricados por tcnicas bem estabelecidas e natural da tecnologia dos circuitos integrados, os MEMS experimentaram uma evoluo extraordinria, tanto do ponto de vista tecnolgico como comercial. Isso originou:: Uma Indstria florescente, dinmica e em franca expanso, particularmente na rea de microestruturas, sensores e atuadores

Interesse em reas muito diversas: industria automotiva, farmacutica, telecomunicaes, eletrnica de consumo, biotecnologia e medicina, microeletrnica e opto-eletrnica.

Devido a suas caractersticas intrnsecas e relao com a Microeletrnica, os MEMS de silcio (Si) apresentam:

Alta sensibilidade e Baixo tempo de resposta

Baixo custo e Confiabilidade/ Alta reprodutibilidadeTabela de onde so utilizados os MEMS

Exemplos de sensores e suas aplicaesAcelermetros

A tecnologia MEMS, ajudou a popularizar os acelermetros, devido a ela podemos ter esse tipo de sensor em dispositivos pequenos como celulares e drones. Para exemplos de funcionamento, utilizaremos o modelos mais comum de acelermetros MEMS.

Os acelermetros MEMS capacitivo so constituidos de pequenas barras de metal se movem entre outras barras de metal, em resposta ao movimento, alterando a capacitncia eltrica, com relao a essa alterao, possvel calcular a fora aplicada no objeto.

Com essa informao, um smartphone poder determinar a mudana na orientao da tela, ou traduzi-las em movimentos fsicos de personagens em games.

Sensor de gsBaseado na tecnologia MEMS sensor supersensvel detecta fluxos de gs. O sensor um termo-elemento, seu princpio de funcionamento baseado na diferena de temperatura causada pela passagem do gs. Quando no existe nenhum fluxo de gs, a distribuio de temperatura do sensor uniforme, mas quando o sensor capta um movimento de gs, a temperatura no lado do sensor que recebe o fluxo menor do que no lado oposto. Essa diferena de temperatura aparece como uma diferena de potencial no dispositivo, o possibilitando medir tanto a taxa quanto a velocidade do fluxo de gs.O sensor pode ser aplicado na area de medicina, sendo utilizado por exemplo, para medir a quantidade de oxignio, nitrognio e dinitrognio monxido (N2O) que so consumidos durante uma cirurgia. Referncias

Lanado o menor sensor de gs do mercado. Disponvel em: Acesso em 08 jun. 2015.

MEMS - Sistemas Microeletromecnicos. Disponvel em: Acesso em 08 jun. 2015.

Sensores Inerciais. Disponvel em: Acesso em 08 jun. 2015.