1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito...
Transcript of 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito...
![Page 1: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/1.jpg)
dispoptic 2013 1
Resumo aula anterior
• Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica
Efeito Pockel Efeito Kerr
Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr
Acusto-óptica. Elasto-óptica Reflexão de Bragg, célula de
Bragg Xstal de quartzo, PZT
• Fotolitografia. • Litografia
• Visita ao Lab Avançado, observar diferentes tipos de efeitos envolvidos em dispositivos de modulação óptica. Demonstração de comunicações utilizando efeito Faraday.
20130610
Apresentação de Jhonas sobre Modulação Eletro-óptica
![Page 2: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/2.jpg)
dispoptic 2013 2
Aula de Hoje
• Mais algumas sobre modulação óptica• Litografia e processos litográficos• Alguns dispositivos integrados• MEMS E MOEMS• Sala limpa
![Page 3: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/3.jpg)
dispoptic 2013 3
Eletro-óptico Pockel e Kerr
Pockel
Kerr
![Page 4: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/4.jpg)
dispoptic 2013 4
Magnetooptical Kerr Effect = MOKE
![Page 5: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/5.jpg)
dispoptic 2013 5
O passo a passo da litografia
• Ver em: http://www.ee.byu.edu/cleanroom/lithography.phtml e procurar por Basic Lithography Tutorial é um java script com animação.
![Page 6: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/6.jpg)
dispoptic 2013 6
SPM lithography
![Page 7: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/7.jpg)
dispoptic 2013 7
![Page 8: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/8.jpg)
dispoptic 2013 8
![Page 9: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/9.jpg)
dispoptic 2013 9
Litografia de imersão
Limite de resolução para litografia é usando a eq de Rayleigh:
W é a largura da linha impressa.
Onde k1 é o fator de resolução, l é o comprimento de onda da radiação de exposição e NA é a apertura numérica.
A colocação de água aumenta a NA (nsenq)
![Page 10: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/10.jpg)
dispoptic 2013 10
Litografia de imersão
![Page 11: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/11.jpg)
dispoptic 2013 11
Imersão
![Page 12: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/12.jpg)
dispoptic 2013 12
Existem vários tipos de processos litográficos
• Feixe de elétrons com MEV• EUV => UV Distante• SPL => Scanning Probe Lithography• Raio-X• Mas.......
![Page 13: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/13.jpg)
dispoptic 2013 13
![Page 14: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/14.jpg)
dispoptic 2013 14
![Page 15: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/15.jpg)
dispoptic 2013 15
![Page 16: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/16.jpg)
dispoptic 2013 16
![Page 17: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/17.jpg)
dispoptic 2013 17
![Page 18: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/18.jpg)
dispoptic 2013 18
![Page 19: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/19.jpg)
dispoptic 2013 19
![Page 20: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/20.jpg)
dispoptic 2013 20
![Page 21: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/21.jpg)
dispoptic 2013 21
Independente da forma como é realizada....
• Observar o produto final objetivo dos efeitos que desejamos
![Page 22: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/22.jpg)
dispoptic 2013 22
Óptica integrada e Materiais Fotônicos
• Desenvolvimento de dispositivos ópticos miniaturizados, em escala de micro – nano, de alta funcionalidade sobre substratos.
• Nesta área é possível distinguir: Circuitos ópticos integrados. A luz é confinada em guias de onda
de filmes finos, depositados ou cavados no substrato (vidro, xstal dielétrico, semicondutor).
Dispositivos ópticos planares
![Page 23: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/23.jpg)
dispoptic 2013 23
Canais de guia de onda fio de cobre
Condições: índice de refraçãomaior na guia do resto domaterial.
As guias de onda são feitas por deposição de material sobre o topo dosubstrato e posteriormente atacadoquimicamente para retirar o resto do material. Pode ser ao contrário tb, Fazendo os sulcos por ataque químicoe posteriormente preenchido com material da guia de onda
![Page 24: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/24.jpg)
dispoptic 2013 24
Outra guia de onda
![Page 25: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/25.jpg)
dispoptic 2013 25
Guia de onda em LiNbO3
• Tiras de Ti depositado no padrão de guia de onda desejado sobre substrato de LiNbO3 puro
• Aquecimento => difusão• Obtenção de guia de onda semicircular
![Page 26: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/26.jpg)
dispoptic 2013 26
Phase Shifter
A mudança de fase vem unicamente do efeito Pockels, campo elétrico provocado através dos dois fios de ouro, que fazem a mudança do índice de refração. Tem sido obtidos moduladores de até 40Gb/s.
![Page 27: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/27.jpg)
dispoptic 2013 27
SAW = Surface Acoustic Wave
Dispositivos acusto-ópticos são fabricados por processos fotolitográficos
Tipicamente consiste de dois conjuntos de transdutores interdigitais.
Um transdutor converte a energia do sinal elétrico em energia mecânica ondulatória.
O outro transdutor faz o processo reverso.
![Page 28: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/28.jpg)
dispoptic 2013 28
Diferentes arranjos dos
eletrodos
IDT =InterDigital Transducer
![Page 29: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/29.jpg)
dispoptic 2013 29
SAW
![Page 30: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/30.jpg)
30
SAW+fibra = demux = dispositivo integrado
Conversor de polarização acusto-óptico
dispoptic 2013http://fb6www.uni-paderborn.de/ag/ag-sol/research/acousto/convert.htm
![Page 31: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/31.jpg)
dispoptic 2013 31
Filtros TE e TM
Y2O3 = 17nm
Al = 100nm
Comprimento = 1,5mm extinção 20dB TM e 0,5dB atenuação TE
Troca de Li por H
Região H aumenta ne
no diminui
TE se acopla na região H, extinção 25dB
TM atenua 1dB
![Page 32: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/32.jpg)
dispoptic 2013 32
Materiais eletro-ópticos
Table 1. Electro-Optic Materials
Material AbbreviationChemical Formula
Transmission Range (mm)
Bandwidth (MHz)
Index ofRefraction
no,ne atwavelength
(mm)
Ammonium dihydrogen phosphate
ADP NH4H2PO4 0.3 - 1.2 to 5001.51, 1.47
at 1.06
Potassiumdihydrogen phosphate
KDP KH2PO4 0.25 - 1.7 > 1001.51, 1.47
at 0.55
Potassium dideuterium phosphate
KD*P KD2PO4 0.3 - 1.1 to 3501.49, 1.46
at 1.06
Lithium niobate LN LiNbO3 0.5 - 2 to 80002.23, 2.16
at 1.06
Lithium tantalate — LiTaO3 0.4 - 1.1 to 10002.14, 2.143
at 1.00
Cadmium telluride
— CdTe 2 - 16 to 1000no = 2.6
at 10
![Page 33: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/33.jpg)
dispoptic 2013 33
Table 2. Acousto-Optic Materials
MaterialChemical formula
Spectral range (mm)
Figure of merit M2
(10- 15 m2/W)
Bandwidth (MHz)
Typical drive
power (W)
IndexofRefraction
AcousticVelocity(m/sec)
Fused silica/quartz
SiO2 0.3 - 1.5 1.6 to 20 61.46
(634,3 nm)5900
Gallium arsenide
GaAs 1.0 - 11 104 to 350 13.37
(1.15 mm)5340
Gallium phosphide
GaP 0.59 - 1.0 45 to 1000 503.31
(1.15 mm)6320
Germanium Ge 2.5 - 15 840 to 5 504.0
(10.6 mm)5500
Lead molybdate
PbMoO4 0.4 - 1.2 50 to 50 1 - 22.26
(633 nm)3630
Telluriumdioxide
TeO2 0.4 - 5 35 to 300 1 - 22.26
(633 nm)4200
Lithiumniobate
L6Nb03 0.5-2 7 > 300 50-1002.20
(633nm)6570
![Page 34: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/34.jpg)
dispoptic 2013 34
Dispositivos
• Podem ser fabricados sobre substratos planares usando processos litográficos comuns e tecnologia de filmes finos.
• Litografia por feixe de elétrons ou por laser • Métodos epitaxiais para fabricação de fontes, detectores
e circuitos opto-eletrônicos.• AsGa, Si, InP
ramificação
![Page 35: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/35.jpg)
dispoptic 2013 35
Acoplamentos
Acopladores direcionais como ramificadorespor acoplamento de ondas evanescentes entre acopladores adjacentes
Acoplador por reflexão de Bragg
![Page 36: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/36.jpg)
dispoptic 2013 36
Chaveamento
Interferômetro Mach-Zehnder
Aquecedor (ms) ou onda acústica (piezo) (ms) ou sinal elétrico num dos braços
![Page 37: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/37.jpg)
dispoptic 2013 37
Outro tipo de chaveamento
![Page 38: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/38.jpg)
dispoptic 2013 38
MZI com filtro de Bragg
![Page 39: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/39.jpg)
dispoptic 2013 39
Algumas aplicações
• Filtros
• MUX/DEMUX
• Chaveadores
• Amplificadores ópticos
• Acopladores
![Page 40: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/40.jpg)
dispoptic 2013 40
O que transferir e como
Meta com óptica integrada
![Page 41: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/41.jpg)
dispoptic 2013 41
Materiais
![Page 42: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/42.jpg)
dispoptic 2013 42
Materiais
![Page 43: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/43.jpg)
dispoptic 2013 43
Componentes fotônicos integrados
![Page 44: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/44.jpg)
dispoptic 2013 44
Mais componentes fotônicos
![Page 45: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/45.jpg)
dispoptic 2013 45
Filtro sintonizável com SAW
![Page 46: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/46.jpg)
dispoptic 2013 46
EDFA integrado
![Page 47: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/47.jpg)
dispoptic 2013 47
Outros processos
![Page 48: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/48.jpg)
dispoptic 2013 48
Comparando duas formas de fazer litografia
![Page 49: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/49.jpg)
dispoptic 2013 49
Escrita direta com laser• Spot ~1 - 5um • Tightly Focuses,
modulated He-Cd or Argon-ion laser scanned across photresists surface
• Up to 256 phase levels
• Serial Process • Difficult to
accurately transfer structure into substrate
• Direct ablation of polyimide layer on substrate using an excimer laser is also possible
• Pattern can be transferred to a VHOE by processing in a 4f optical processor.
VHOE(volume holographic optical element)
![Page 50: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/50.jpg)
dispoptic 2013 50
Processo de photoresist para litografia
![Page 51: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/51.jpg)
dispoptic 2013 51
Recobrimento do photoresist por spinner
![Page 52: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/52.jpg)
dispoptic 2013 52
Método de replicação
![Page 53: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/53.jpg)
dispoptic 2013 53
Fontes de luz em litografia
G-line 436nm
I-line 365nm
KrF Excimer 248nm
ArF Excimer 193nm
EUV < 13nm
![Page 54: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/54.jpg)
dispoptic 2013 54
Dispositivos MEMS e MOEMS
![Page 55: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/55.jpg)
dispoptic 2013 55
Fotônica
• Ciência e tecnologia baseada em e relacionada com o controle e processamento de radiação eletromagnética, fóton de luz, incorporando óptica – eletrônica - ciência dos materiais – laser – memória – processamentos.
• É o equivalente óptico da eletrônica
![Page 56: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/56.jpg)
dispoptic 2013 56
![Page 57: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/57.jpg)
dispoptic 2013 57
![Page 58: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/58.jpg)
dispoptic 2013 58
![Page 59: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/59.jpg)
dispoptic 2013 59
![Page 60: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/60.jpg)
dispoptic 2013 60
![Page 61: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/61.jpg)
dispoptic 2013 61
![Page 62: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/62.jpg)
dispoptic 2013 62
![Page 63: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/63.jpg)
dispoptic 2013 63
![Page 64: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/64.jpg)
dispoptic 2013 64
![Page 65: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/65.jpg)
dispoptic 2013 65
Links
• Photolithography Overview for MEMS http://www.youtube.com/watch?v=1bxf9QRVesQ
• MEMS Programs at DARPA L43ME219.pdf• NANO - Lithography Seminar Report.mp4 • Chip Manufacturing Process - Philips Factory.mp4• Semiconductor Technology at TSMC, 2011.mp4• Amazing video - How the 22nm computer chips are mad
e from si.mp4
DARPA = Defense Advanced Research Projects Agency
![Page 66: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/66.jpg)
66dispoptic 2013
Fazer Litografia Trabalhando em qq Sala?
Sala limpa
• Qualidade, temperatura e umidade do ar altamente
controlada para evitar contaminação, e.g.:
Centros cirúrgicos (aquela estória de infecção hospitalar)
Laboratórios de processamentos litográficos
• Remoção de partículas e impurezas, inclusive bactérias,
através de processos de filtragem
• Classificação de Sala Limpa:
Americano: Federal Standard 209
Europeu: ISO 14644-1
![Page 67: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/67.jpg)
dispoptic 2013 67
Classes de sala limpa, padrão Americano
Número máximo de partículas no ar (partículas por pé cúbico de ar)
ClasseTamanho da Partícula
0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 5.0 μm
1 35 7.5 3 1
10 350 75 30 10
100 750 300 100
1,000 1,000 7
10,000 10,000 70
100,000 100,000 700
http://www.engineeringtoolbox.com/clean-rooms-d_932.html
![Page 68: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/68.jpg)
dispoptic 2013 68
Classes de sala limpa, padrão ISO
CLASS Número de partículas por metro cúbico por tamanho micrométrico
0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5 um 1 um 5 um
ISO 1 10 2
ISO 2 100 24 10 4
ISO 3 1,000 237 102 35 8
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO 7 352,000 83,200 2,930
ISO 8 3,520,000 832,000 29,300
ISO 9 35,200,000 8,320,000 293,000
http://www.particle.com/whitepapers_met/Cleanroom%20Standards.htm
![Page 69: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/69.jpg)
dispoptic 2013 69
Outras normas ISO para sala limpa
ISO Document Title
ISO-14644-1 Classification of Air Cleanliness
ISO-14644-2 Cleanroom Testing for Compliance
ISO-14644-3 Methods for Evaluating & Measuring Cleanrooms & Associated Controlled Environments
ISO-14644-4 Cleanroom Design & Construction
ISO-14644-5 Cleanroom Operations
ISO-14644-6 Terms, Definitions & Units
ISO-14644-7 Enhanced Clean Devices
ISO-14644-8 Molecular Contamination
ISO-14698-1 Biocontamination: Control General Principles
ISO-14698-2 Biocontamination: Evaluation & Interpretation of Data
ISO-14698-3 Biocontamination: Methodology for Measuring Efficiency of Cleaning Inert Surfaces
![Page 70: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/70.jpg)
dispoptic 2013 70
Tamanhos de partículas (mm)
![Page 71: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/71.jpg)
dispoptic 2013 71
Outra representação dos tamanhos
HEPA = high efficiency particulate air
![Page 72: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/72.jpg)
dispoptic 2013 72
Mais uma geral
![Page 73: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/73.jpg)
dispoptic 2013 73
Com que roupa vou?
![Page 74: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/74.jpg)
dispoptic 2013 74
![Page 75: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/75.jpg)
dispoptic 2013 75
![Page 76: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/76.jpg)
dispoptic 2013 76
![Page 77: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/77.jpg)
dispoptic 2013 77
![Page 78: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/78.jpg)
dispoptic 2013 78
![Page 79: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/79.jpg)
dispoptic 2013 79
![Page 80: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/80.jpg)
dispoptic 2013 80
![Page 81: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/81.jpg)
dispoptic 2013 81
MEMS = Micro Electro Mechanical System
![Page 82: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/82.jpg)
dispoptic 2013 82
Engrenagens - acaro
![Page 83: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/83.jpg)
dispoptic 2013 83
Situação atual
Design Fabricação
Vendas de substratos Mascaras
![Page 85: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/85.jpg)
dispoptic 2013 85
Detecção de fluorescência
![Page 86: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/86.jpg)
86
MEMS compatible micro-GRIN lenses for fiberto chip coupling of light
• Michael Zickar, Wilfried Noell, Cornel Marxer, Nico de Rooij. Institute of Microtechnology (IMT), University of Neuchatel, Switzerland
dispoptic 2013
![Page 87: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/87.jpg)
dispoptic 2013 87
Acoplamento lente grin –fibra óptica
![Page 88: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/88.jpg)
dispoptic 2013 88
Novos materiais óptica integrada
http://www.solgel.com/articles/june01/owghyb.asp
![Page 89: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/89.jpg)
dispoptic 2013 89
Outro sistema
![Page 90: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/90.jpg)
dispoptic 2013 90
Microfone óptico
Fig. 1: optical principle
Fig. 2: basic build-up
Structuring the optical fibers to produce a prism by polishing the chip
optical work bench with discrete optical components
Integrated optics like lenses, prisms and waveguides
http://www.imt.tu-bs.de/imt/en/institut/mitarb/feldmann/projekte/mikrofon
![Page 91: 1 Resumo aula anterior Modulação Eletromecânica – chopper Eletro-óptica Efeito Pockel Efeito Kerr Magneto-óptica Efeito Faraday Magneto-Kerr Acusto-óptica.](https://reader038.fdocumentos.tips/reader038/viewer/2022102716/552fc13c497959413d8dbec9/html5/thumbnails/91.jpg)
dispoptic 2013 91
Próxima Aula Cristais Fotônicos