Post on 07-Apr-2016
Fotos de Microeletrônica e Micro-Sistemas
Jacobus W. SwartCCS
UNICAMP
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas2. História da Microeletrônica
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas2. História da Microeletrônica
• 1958: J. Kilby, Texas Inst., patente de CI, usando processo rudimentar:
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas2. História da Microeletrônica
• 1959 - J. Hoerni, Fairchild, processo planar:– Superf. Si oxidado + fotogravação, abertura de
janelas para difusão, vários no mesmo plano.
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas
2. História da Microeletrônica Primeiro CI, 1961 - Fairchild
1964 - Op-Amp A702, Fairchild
1965 - Op-Amp A709, Fairchild
1970 - SRAM 256 Bit, Fairchild
1970 - 1024 Bit DRAM, Intel
1970 - CCD 8 Bit, Bell Labs
1971 - Microprocessador 4004, Intel
Outras Comparações:
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas2. História da Microeletrônica
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas2. História da Microeletrônica
Previsão: Roadmap SIA 1997• Dado \ Ano 1997 1999 2001 2003 2006 2009 2012
• LMIN.(nm) 250 180 150 130 100 70 50
• DRAM (bits) 256M 1G - 4G 16G 64G 256G
• Área chip DRAM (mm2) 280 400 480 560 790 1120 1580
• Diâmetro / lâmina (mm) 200 300 300 300 300 450 450
• Níveis de metal (lógica) 6 6-7 7 7 7-8 8-9 9
• Compr. metal (lógica) (m) 820 1480 2160 2840 5140 10000 24000
• VDD(V) 2.5 1.8 1.5 1.5 1.2 0.9 0.6
• FMAX de relógio (MHz) 750 1250 1500 2100 3500 6000 10000
• Número máscaras 22 23 23 24 25 26 28
• Defeitos (m-2)*** 2080 1455 1310 1040 735 520 370
• Custo/bit DRAM inicial (c)120 60 30 15 5.3 1.9 0.66
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas2. História da Microeletrônica
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas3. História da Microeletrônica no Brasil - ROM 2 k Bit, 1978
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas3. História da Microeletrônica no Brasil - BCCD, 1981
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas4. Itrodução a Micro-sistemas.
• Microssistemas = IMEMS (Integrated MicroElectroMechanical Systems)
• Inclui num mesmo chip:– circuito integrado– microssensores– microatuadores
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas4. Itrodução a Micro-sistemas.
• Importância para várias aplicações:– saúde– transporte– indústria– ambiente– agricultura– defesa e segurança– produtos de consumo– outros
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas4. Itrodução a Micro-sistemas.
• Sensor ou atuador: converte um estímulo físico-químico num outro sinal.
• Num sistema geral e genérico temos:
Evolução de Microeletrônica a Micro-Sistemas4. Itrodução a Micro-sistemas.
Exemplos:Acelerômetro para “airbag”
Matriz de espelhos - proj. óptica
Sensor de Pressão
Sensor de pressão inteligente
Display de emissão de elétrons
Ponta de prova para AFM
Pinça
Engrenagens (Liga)